导热真空计概述

导热真空计的原理是用电流J加热真空计中的张紧金属丝（图11-19）。在热平衡中，输入能量为辐射热传递（QR）和铅热传递（QL）。图11-18 HLP-03低真空计原理框图QR = KRA（eT4-oT8）QL = KL（T-To）其中R-气体传热（Qc），即RI2 = QR + QL + QC线电阻，T线热力学温度，Tomdash，mdash，调节壁热力学温度，KRmdash，mdash，Stephen。玻尔兹曼常数[5.67倍，1012′W /（cm2.K4）]，A线表面积，e线热发射率，Eomdash，mdash，调节壁热发射率，KL和铅材料以及与结构有关的常数。图11-19导热真空计的示意图从公式（11-13）和（11-14），我们可以知道QR和QL与气压无关，但Qc不同。在高压下，气体分子的自由路径A的直径为d，气体的传热Qc为Kcmdash，mdash，高压下气体的热导率Cvmdash，mdash，比热容。 （11mdash，16）中的因数P与压力户成正比，而A与压力户成反比，因此Kc与压力镇无关。等式（1l-15）可以写成Qc = B（Tmdash，To）B常数。从式（11-17）可知，在高压下，Qc与压力使用者无关，因此不能使用气体导热来测量气体压力（导热计的测量上限也是由这个因素决定）。在低压下，A> d，分子之间没有碰撞，气体的热传递仅与家庭有关，则公式a-thermal中的Qc = aAp（T-To）（11-18）适应系数，无A的分子热导率，其中R气常数，T'-T和To的平均值，M气的摩尔质量。因此，可以使用Qc和低压下的压力p之间的关系来测量气体的压力。因为A和/成反比，并且a和cv与气体类型有关，所以导热真空计的灵敏度会随气体类型而变化。在低高压之间的过渡区域，Qc和压力p的关系如图11-20所示，这是从公式（11-18）中的自由分子热传导到公式（11-17）的过渡。 。与压力无关的传热情况。图11-20 Qc-Sonic天鹅绒公式（11-18）中的热适应系数定义为Tg-Ti（11-20）a = i = Tl其中Tlmdash，mdash，气体分子温度，T2mdash，mdash，表面温度，Tg_气体分子（Ti）与表面（T2）碰撞后的温度。热适应系数与金属丝的材料特性和表面状态以及气体的类型和温度有关。清洁表面的值小于不清洁表面的值。对于经常暴露在高压下的调节器，热线在表面上具有吸附层，因此口值较大。口值对导热真空计的精度和稳定性有很大的影响。表11-2显示了某些气体-金属组合的热适应系数。表11-2一些气体金属基团的热适应系数α的测量下限主要由QR和QL的大小决定。 Qc没有理论下限。有几种类型的热导真空计。常用的Z *是热电偶真空计和电阻真空计，它们也是测量粗真空和低真空的主要工具。